電子廠進行廢氣處理的方法
1、焚燒法（RTO）：能耗***、運行成本高，適合處理高濃度、小風量有機廢氣；
2、吸附法（活性炭）：投資小、工藝簡單，易飽和，需要與脫附、冷凝、焚燒等方法聯用才能滿足排放要求；
3、冷凝法：與吸收、吸附等方法聯用，將有機廢氣吸附濃縮后冷凝、分離，回收其中有價值的有機物。此法適用濃度高、風量小的有機廢氣處理場合。缺點是：投資、能耗、運行費用高，冷凝回收物提純處理后，仍有相當部分液態(tài)廢棄物需要進一步處理。該方案與生產設備、生產工藝存在匹配關系，偏離這種匹配關系將提高治理成本，影響治理效果；
4、沸石轉輪濃縮+焚燒法：沸石轉輪濃縮設備基本依靠進口，自主產品尚不成熟。該方案同樣與生產設備、生產工藝存在匹配關系；
5、光催化氧化法：采用C波段（僅次于切割不銹鋼的激光，強于氬弧焊光源的數十倍強度）在設備內，強裂解惡臭物質分子鏈，改變物質結構，將高分子污染物質，裂解、氧化成為低分子無害物質，如水和二氧化碳等；
6、高溫等離子凈化法：經過壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應器壓力增高，氣體體積急劇膨脹，在高溫、高電勢的雙重作用下，有機廢氣瞬間(萬分之5秒)成為高溫等離子體，其中長分子鏈裂解成單質原子，有機物凈化率在90%左右。
